产品中心
Product Center
适用场景: 存储易燃、易爆、腐蚀、有毒等危险化学药品
适用场景: 提供充满N2密闭空间,存储相关部件
适用场景:设备维护时相关工具、零部件摆放、移动
适用场景:用于运输转移石英炉管
适用场景:电子 新能源 实验室 半导体行业等各行业无尘车间
设备功能:用于Load Port,提供氮气吹扫功能,达到降湿除尘的目的
设备功能:用于控制EFEM中Particle(颗粒物)含量,还可以控制EFEM中的酸碱有机物及RH(相对湿度)